高精度大推力Z軸直線電機(jī)。直線度5μm，重復(fù)精度0.3μm，定位精度6μm；小行程大推力，有效行程30mm，最大推力692.4Nm，額定負(fù)載13kg。適合半導(dǎo)體行業(yè)的點(diǎn)膠機(jī)、貼片機(jī)等對(duì)精度有高要求的設(shè)備，廣泛用于半導(dǎo)體檢測(cè)，3c電子零部件加工，激光切割等等。